真空镀膜机的组成和工作原理

2021-03-11

  真空镀膜机是真空条件下应用比价广的真空设备。一般由真空室、真空单元和电气控制柜组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+保冷器”组成。我公司从事真空镀膜设备的研发和生产,有经验比较丰富的技术团队和高素质的售后服务团队,解决设备使用中遇到的其他的问题。其次,详细介绍了镀膜机的组成和工作原理。

  1.真空主体-真空室根据产品加工的不同要求,真实的腔体尺寸也不同。目前应用比较广的是直径1.3m、0.9m、1.5m和1.8m。腔体采用不锈钢,要求不生锈,结实。真空室的每个部分都有一个连接阀,用于连接每个泵。

  2.辅助抽气系统:排气系统是涂布机真空系统的重要组成部分,主要由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+聚晶”组成。排气过程如下:机械泵先将真空镀膜机抽至小于2.0*10-2Pa的低真空状态,为扩散泵的后续抽真空提供前提。然后,扩散泵抽真空室时,机械泵与油扩散泵串联,从而完成抽真空动作。

  机械泵:又称前置泵,是机械泵中应用比较广的低真空泵。它利用油保持密封效果,并通过机械方法不断改变泵内吸入腔的容积,使被泵容器内的气体容积不断膨胀,以获得真空。

  镀后处理

  1.钝化处理

  所谓钝化处理,是指在一些溶液中进行化学处理,在涂层上形成固体、致密、稳定的膜层。钝化可大大增加涂层的耐蚀性,增加表面光泽度和抗污染能力。该方法应用较广,可在镀锌、镀铜、镀银后进行钝化处理。

  2.脱氢处理

  一些金属如锌,在电沉积过程中,除自身沉积外,还会析出一部分氢,这部分氢渗入镀层,使镀层变脆,甚至断裂,称为氢脆。为了清理氢脆,电镀后的真空镀膜机零件在一些温度下进行数小时的热处理,称为脱氢处理。


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