真空镀膜机的介绍

2021-05-19

  一、真空镀膜机冷却配套冷水机的作用
 镀膜机冷水机组的作用是维持镀膜机的温度,从而达到比较高的精度、高效率的温度控制的目的。以往,在没有冷水机组的情况下,自然水和冷却塔不可避免地受到自然温度的影响,这种控制方法比较不稳定。因此,可以说冷水机组是真空镀膜设备中比较重要的配套冷却设备,因为冷水机组的好坏直接关系到镀膜机的工作效果。
  二、为什么真空镀膜机要配备冷水机?
  这应从真空镀膜的工作原理来看:薄膜材料在高温下蒸发,在工件表面结晶。由于空气对蒸发膜分子的阻力,晶体会变得粗糙和暗淡,因此比较在高真空下才能使晶体细腻明亮。如果真空度不高,晶体就会失去光泽,结合力也很差。
  冷水机组设有制冷系统和冷却水循环系统。水温可在5℃范围内调节控制℃ ~ 30℃. 实现了比较高的精度、高效率的温度控制。冷却原理是:冷却系统将水冷却,然后水泵将低温冷却水送至镀膜机冷却。冷水机组的冷冻水带走热量,然后温度上升并返回水箱,以达到冷却效果。
  三、真空镀膜机的使用步骤
  1) 水泵及气源
  2) 打开主电源
  3) 打开维持泵、真空计电源,将真空表调到V1,待值小于10后再进行下一步操作。大约需要五分钟。
  4) 打开机械泵,预抽,打开涡轮分子泵电源,启动,将真空表开关切换到V2位置,抽至2以下,约20分钟。
  5) 待涡轮分子泵读数达到250后,关闭预抽,打开前置机和高压阀继续抽真空。抽真空到需要程度后,打开右侧的高真空表,观察真空度。真空度达到2× 10-3后,枪就可以通电了。

  四、电子枪电源柜操作
  1) 打开主电源
  2) 同时打开电子枪控制I和电子枪控制II的电源:按下电子枪控制I的电源和延时开关,延时、电源和?;さ屏?。三分钟后,延时灯和?;さ平?。如果后门未关闭或水流继电器故障,?;さ平疗?。
  3) 打开高压,高压将达到10kV以上,束流可调节到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流为1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。
  ?;承?br/>  1) 关闭高真空计和分子泵。
  2) 当分子泵显示50时,依次关闭高阀、前级和机械泵,大约需要40分钟。
  3) 低于50时,关闭检修泵。

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